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走査型プローブ顕微鏡による微細加工 - 局所的アノード酸化と還元反応
Scanning Probe Lithography Based on Electrochemical Oxidation and Reduction

著者名:
掲載資料名:
真空 : journal of the Vacuum Society of Japan
発行年:
2015
巻:
58
号:
2
開始ページ:
50
終了ページ:
56
総ページ数:
7
出版情報:
東京: 真空協会
ISSN:
18822398
言語:
日本語
資料種別:
学術雑誌

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