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Experimentelle und theoretische Untersuchung der Elektronenstrahldirektbelichtung zur Herstellung von Halbleitersubmikronstrukturen - Waferverzuge - Resistvergleich

著者名:
  • Stephani, Dietrich ( Institut fur Halbleitertechnik der Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule )
  • Kratschmer, Ernst ( Institut fur Halbleitertechnik der Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule )
  • Gellrich, Norbert ( Institut fur Halbleitertechnik der Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule )
掲載資料名:
NASA Technical Reports
発行年:
1983
通号:
N84-11414
ペーパー番号:
N84-11414
開始ページ:
1
終了ページ:
122
総ページ数:
122
出版情報:
National Aeronautics and Space Administration
言語:
ドイツ語
資料種別:
テクニカルペーパー

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