Experimentelle und theoretische Untersuchung der Elektronenstrahldirektbelichtung zur Herstellung von Halbleitersubmikronstrukturen - Waferverzuge - Resistvergleich
- 著者名:
- Stephani, Dietrich ( Institut fur Halbleitertechnik der Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule )
- Kratschmer, Ernst ( Institut fur Halbleitertechnik der Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule )
- Gellrich, Norbert ( Institut fur Halbleitertechnik der Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule )
- 掲載資料名:
- NASA Technical Reports
- 発行年:
- 1983
- 通号:
- N84-11414
- ペーパー番号:
- N84-11414
- 開始ページ:
- 1
- 終了ページ:
- 122
- 総ページ数:
- 122
- 出版情報:
- National Aeronautics and Space Administration
- 言語:
- ドイツ語
- 資料種別:
- テクニカルペーパー
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