Comprehensive review of micro/meso-scale machine tools

著者名:

• Q. Y. Wang ( Tianjin Univ., China )
• F. Z. Fang ( Tianjin Univ., China )
• X. T. Hu ( Tianjin Univ., China )

掲載資料名:

Design, manufacturing, and testing of micro- and nano-optical devices and systems : 3rd International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies : 8-12 July 2007, Chengdu, China

シリーズ名:

Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering

シリーズ巻号:

6724

発行年:

2007

開始ページ:

67241K-1

終了ページ:

67241K-6

総ページ数:

6

出版情報:

Bellingham, Wash.: Society of Photo-optical Instrumentation Engineers

ISSN:

0277786X

ISBN:

9780819468819 [0819468819]

言語:

英語

請求記号:

P63600/6724

資料種別:

国際会議録