Advanced CVD Silicon Carbide Barrier Technology for Protection from Detrimental Gases

著者名:

L. Zambov ( Dow Corning Co., Midland, MI )

K. Weidner ( Dow Corning Co., Midland, MI )

V. Shamamian ( Dow Corning Co., Midland, MI )

R. Camilletti ( Dow Corning Co., Midland, MI )

U. Pernisz ( Dow Corning Co., Midland, MI )

S. Snow ( Dow Corning Co., Midland, MI )

M. Loboda ( Dow Corning Co., Midland, MI )

D. Gidley ( University of Michigan, Ann Arbor, MI )

H-G. Peng ( University of Michigan, Ann Arbor, MI )

R. Vallery ( University of Michigan, Ann Arbor, MI )

さらに 5 件

掲載資料名:

48th annual technical conference proceedings, April 23-28, 2005, Denver, Colorado

シリーズ名:

Annual Technical Conference of Society of Vacuum Coaters

シリーズ巻号:

48

発行年:

2005

開始ページ:

173

終了ページ:

179

総ページ数:

7

出版情報:

Albuquerque, NM: Society of Vacuum Coaters

ISSN:

07375921

言語:

英語

請求記号:

A63930/48

資料種別:

国際会議録