Low Outgassing of Silicon-Based Coatings on Stainless Steel Surfaces for Vacuum Applications

著者名:

• D.A. Smith ( Restek Performance Coatings, Bellefonte, PA )
• M.E. Higgins ( Restek Performance Coatings, Bellefonte, PA )
• B.R.F. Kendall ( Elvac Laboratories, Bellefonte, PA )

掲載資料名:

48th annual technical conference proceedings, April 23-28, 2005, Denver, Colorado

シリーズ名:

Annual Technical Conference of Society of Vacuum Coaters

シリーズ巻号:

48

発行年:

2005

開始ページ:

74

終了ページ:

78

総ページ数:

5

出版情報:

Albuquerque, NM: Society of Vacuum Coaters

ISSN:

07375921

言語:

英語

請求記号:

A63930/48

資料種別:

国際会議録