Low-Temperature Heteroepitaxial Growth of 3C-SiC(111) on Si(110) Substrate Using Monomethylsilane

著者名:

A. Konno

Y. Narita

T. Itoh

K. Yasui

H. Nakzawa

T. Endoh

M. Suemitsu

さらに 2 件

掲載資料名:

State-of-the-art program on compound semiconductors 45 (SOTAPOCS 45) and wide bandgap semiconductor materials and devices 7

シリーズ名:

ECS transactions

シリーズ巻号:

3(5)

発行年:

2006

開始ページ:

449

終了ページ:

456

総ページ数:

8

出版情報:

Pennington, N.J: Electrochemical Society

ISSN:

19385862

ISBN:

9781566775052 [1566775051]

言語:

英語

請求記号:

E23400/3-5

資料種別:

国際会議録