Extensive Studies for Effects of Nitrogen Incorporation into Hf-Based High-k Gate Dielectrics
- 著者名:
N. Umezawa K. Shiraishi H. Watanabe K. Toni Y. Akasaka S. Inumiya M. Boero A. Uedono S. Miyazaki T. Ohno T. Chikyow K. Yamabe Y. Nara K. Yamada - 掲載資料名:
- Dielectrics for nanosystems II: materials science, processing, reliability, and manufacturing
- シリーズ名:
- ECS transactions
- シリーズ巻号:
- 2(1)
- 発行年:
- 2006
- 開始ページ:
- 63
- 終了ページ:
- 78
- 総ページ数:
- 16
- 出版情報:
- Pennington, N.J.: Electrochemical Society
- ISSN:
- 19385862
- ISBN:
- 9781566774383 [1566774381]
- 言語:
- 英語
- 請求記号:
- E23400/2-1
- 資料種別:
- 国際会議録
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