Layer Transfer of Hydrogen-Implanted Silicon Wafers by Thermal-Microwave Co-Activation
- 著者名:
Y. Y. Yang C. H. Huang Y. -K. Hsu S. -J. Jeng C. -C. Tai S. Lee H. -W. Chen Q. Gan C. -S. Chu J. -H. Ting C. S. Lai T. -H. Lee - 掲載資料名:
- Transistor scaling--methods, materials and modeling : symposium held April 18-19, 2006, San Francisco, California, U.S.A.
- シリーズ名:
- Materials Research Society symposium proceedings
- シリーズ巻号:
- 913
- 発行年:
- 2006
- 開始ページ:
- 111
- 終了ページ:
- 118
- 総ページ数:
- 8
- 出版情報:
- Warrendale, Pa.: Materials Research Society
- ISSN:
- 02729172
- ISBN:
- 9781558998698 [1558998691]
- 言語:
- 英語
- 請求記号:
- M23500/913
- 資料種別:
- 国際会議録
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