HEAT-TREATMENT INDUCED DEFECTS IN CZ-SILICON

著者名:

• Dannefaer, S.
• Bretagnon, T.
• Abdurahman, K.
• Kerr, D.
• Hahn, S.

掲載資料名:

Defect engineering in semiconductor growth, processing and device technology : symposium held April 26-May 1, 1992, San Francisco, California, U.S.A.

シリーズ名:

Materials Research Society symposium proceedings

シリーズ巻号:

262

発行年:

1992

開始ページ:

671

終了ページ:

676

総ページ数:

6

出版情報:

Pittsburgh, Pa.: Materials Research Society

ISSN:

02729172

ISBN:

9781558991576 [1558991573]

言語:

英語

請求記号:

M23500/262

資料種別:

国際会議録