Blank Cover Image

Silicon Oxide Sacrificial Layer for MEMS Applications

著者名:
Biasotto, C.
Boscoli, F. A.
Teixeira, R. C.
Ramos, A. C. S.
Diniz, J. A.
Daltrini, A. M.
Moshkalyov, S. A.
Doi, I.
さらに 3 件
掲載資料名:
Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
2005-08
発行年:
2005
開始ページ:
389
終了ページ:
397
総ページ数:
9
出版情報:
Pennington, N.J.: Electrochemical Society
ISSN:
01616374
ISBN:
9781566774260 [1566774268]
言語:
英語
請求記号:
E23400/200508
資料種別:
国際会議録

類似資料:

Biasotto, C., Monte, B., Neli, R. R., Ramos, A. C. S., Diniz, J. A., Moshkalyov, S.A., Doi, I., Swart, J. W.

Electrochemical Society

Teixeira, R. C., Doi, I., Zakia, M. B. P., Diniz, J. A.

Electrochemical Society

Daltrini, A. M., Moshkalyov, S. A., Ramos, A. C. S., Swart, J. W.

Electrochemical Society

Manera, G. A., Diniz, J. A., Moshkalyov, S. A., Lujan, G. S., Doi, I., Swart, J. W.

Electrochemical Society

Scoralick Junior, C., Doi, I., Teixeira, R. C., Diniz, J. A., Swart, J. W.

Electrochemical Society

Teixeira, R. C., Doi, I., Diniz, J. A., Swart, J. W., Zakia, M. B. P., dos Santos Filho, S. G.

Electrochemical Society

Santos, R. E., Doi, I., Teixeira, R. C., Diniz, J. A., Swart, J. W., dos Santos, S. G.

Electrochemical Society

Vieira, R., Martarello, V., Moshkalyov, S. A., Diniz, J. A., Swart, J. W.

Electrochemical Society

Mestanza, S. N. M., Biasotto, C., Costa, A. C., Dias, G. O., Doi, I., Diniz, J. A., Swart, J. W.

Electrochemical Society

Oliveira, A. C. Jr.,, Doi, I., Diniz, J. A.

Electrochemical Society

Fioravante, N. P. Jr., Manera, L. T., Moshkalyov, S. A., Diniz, J. A., Tatsch, P. J., Grados, H. R. J., Doi, I., Swart, …

Electrochemical Society

Wiser, R.F., Chung, J., Mehregany, M., Zorman, C.A.

Materials Research Society

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12