Blank Cover Image

High-k Dielectrics Integration Prospects (Invited paper)

著者名:
Kubicek, S.
Van Elshocht, S.
Delabie, A.
Yamamoto, K.
Beckx, S.
Claes, M.
Van Hoornick, N.
Kwak, D.-H.
Hyun, S.
Rothschild, A.
Veloso, A.
Anil, K.
Lujan, G.
Kittle, J.A.
Lauwers, A.
Kaushik, V.
Niwa, M.
De Gendt, S.
Heyns, M.
Jurczak, M.
Biesemans, S.
さらに 16 件
掲載資料名:
ULSI Process Integration : proceedings of the International Symposium
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
2005-06
発行年:
2005
開始ページ:
169
終了ページ:
192
総ページ数:
24
出版情報:
Pennington, N.J.: Electrochemical Society
ISSN:
01616374
ISBN:
9781566774642 [1566774640]
言語:
英語
請求記号:
E23400/200506
資料種別:
国際会議録

類似資料:

M. Niwa, R. Mitsuhashi, S. Hayashi, K. Yamamoto, Y. Harada, M. Kubota, A. Rothchild, T. Hoffmann, S. Kubicek, S. …

Electrochemical Society

Elshocht, S. Van, Carter, R., Caymax, M., Claes, M., Conard, T., Date, L., Gendt, S. De, Kaushik, V., Kerber, A., Kluth, …

Materials Research Society

De Gendt, S., Brunco, D., Caymax, M., Canard, T., Date, L., Delabie, A., Deweerd, W., Groeseneken, G., Houssa, M., Hyun, …

Electrochemical Society

Kittl, J. A., Lauwers, A., Pawlak, M. A., Demeurisse, C., Anil, K. G., Veloso, A., van Dal, M. J. H., Schram, T., Brijs, …

Electrochemical Society

Niwa, M., Mitsuhashi, R., Yamamoto, K., Hayashi, S., Rothchild, A., Kubicek, S., De Gendt, S., Biesemans, S.

Springer

V. S. Kaushik, K. Rohr, S. Hyun, S. De Gendt, S. Van Elshocht, A. Debbie, J. Everoert, A. Veboso, S. Brus, L. …

Electrochemical Society

Kaushik, V., De Gendt, S., Caymax, M., Young, E., Rohr, E., Van Elshocht, S., Delabie, A., Claes, M., Shi, X., Chen, I., …

Electrochemical Society

Kaushik, V.S., Gendt, S.De, Carter, R., Claes, M., Rohr, E., Pantisano, L., Kluth, J., Kerber, A., Cosnier, V., Cartier, …

Materials Research Society

De Gendt, S., Beckx, S., Caymax, M., Claes, M., Conard, T., Delabie, A., Deweerd, W., Hellin, D., Kraus, H., Onsia, B., …

Electrochemical Society

Kaushik, V. S., DeGendt, S., Carter, R., Claes, M., Rohr, E., Pantisano, L., Kluth, J., Kerber, A., Cosnier, V., …

Materials Research Society

Claes, Martine, Gendt, Stefan De, Witters, Thomas, Kaushik, Vidya, Chen, Jerry, Conard, Thierry, Delabie, Annelies, …

Materials Research Society

KiTTL, J. A. 1, PAWLAK, M. A., LAUWERS, A., SCHRAM, T., POURTOIS, G., VELOSO, A., Yu, H., HOFFMANN, T., DEMEURISSE, C., …

Electrochemical Society

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12