Blank Cover Image

49 Characteristics of Hf(Si,O) Gate Dielectrics as a Function of Hf Content

著者名:
Chang, K.
Shallenberger, J.
Chang, F.-M.
Shanmugasundaram, K.
Roman, P.
Mumbauer, P.
Ruzyllo, J.
さらに 2 件
掲載資料名:
Advanced gate stack, source/drain and channel engineering for Si-based CMOS, new materials, processes, and equipment : proceedings of the international symposium
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
2005-05
発行年:
2005
開始ページ:
404
終了ページ:
410
総ページ数:
7
出版情報:
Pennington, NJ: Electrochemical Society
ISSN:
01616374
ISBN:
9781566774635 [1566774632]
言語:
英語
請求記号:
E23400/200505
資料種別:
国際会議録

類似資料:

Chang, K., Shanmugasundaram, K., Lee, D.-O., Roman, P., Shallenberger, J., Chang, F.-M., Wang, J., Beck, R., Mumbauer, …

Electrochemical Society

Roman, P., Lee, D., Mumbauer, P., Grant, R., Kamieniecki, E., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

Lee, D., Roman, P., Mumbauer, P., Grant, R., Horn, M., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

Mahoney, W.J., Roman, P., Mumbauer, P., Ruzyllo, J.

SPIE - The International Society of Optical Engineering

Shanmugasundaram, K., Chang, K., Shallenberger, J., Danel, A., Tardif, F., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

K. Shanmugasundaram, K. Chang, J. Ruzyllo

Electrochemical Society

Staffa, J., Roman, P., Chang, K., Torek, K., Ruzyllo, J.

MRS - Materials Research Society

Roman, P., Lee, D.D., Wang, J., Mumbauer, P., Grant, R., Tower, J., Kamieniecki, E., Lukasiak, L., Ruzyllo, aud J.

Electrochemical Society

Ruzyllo,J., Roman,P., Lee,D.-O., Brubaker,M., Kamieniecki,E.

SPIE - The International Society for Optical Engineering

Roman, P., Hwang, D., Torek, K., Ruzyllo, J., Kamieniecki, E.

MRS - Materials Research Society

Roman, P., Lee, D.-O., Wang, J., Wu, C.-T., Subramanian, V., Brubaker, M., Mumbauer, P., Grant, R., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

K. Shanmugasundaram, S. Price, K. Chang, D. Lee, J. Ruzyllo

Electrochemical Society

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12