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Results of a round robin measurement on a new CD mask standard

著者名:
Gans, F. ( Advanced Mask Technology Ctr. (Germany) )
Liebe, R. ( Advanced Mask Technology Ctr. (Germany) )
Richter, J. ( Advanced Mask Technology Ctr. (Germany) )
Schatz, Th. ( Infineon Technologies AG (Germany) )
Hauffe, B. ( Photronics MZD GmbH and Co. KG (Germany) )
Hillmann, F. ( MueTec GmbH (Germany) )
Dobereiner, S. ( MueTec GmbH (Germany) )
Bruck, H.-J. ( MueTec GmbH (Germany) )
Scheuring, G. ( MueTec GmbH (Germany) )
Brendel, B. ( Leica Microsystems Lithography GmbH (Germany) )
Bettin, L. ( Leica Microsystems Lithography GmbH (Germany) )
Roth, K.-D. ( Leica Microsystems Wetzlar GmbH (Germany) )
Steinberg, W. ( Leica Microsystems Wetzlar GmbH (Germany) )
Schluter, G. ( Leica Microsystems Wetzlar GmbH (Germany) )
Speckbacher, P. ( Dr. Johannes Heidenhain GmbH (Germany) )
Sedlmeier, W. ( Dr. Johannes Heidenhain GmbH (Germany) )
Scherubl, T. ( Carl Zeiss SMS GmbH (Germany) )
HaBler-Grohne, W. ( Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Germany) )
Frase, C. G. ( Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Germany) )
Czerkas, S. ( Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Germany) )
Dirscherl, K. ( Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Germany) )
Bodermann, B. ( Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Germany) )
Mirande, W. ( Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Germany) )
Bosse, H. ( Physikalisch-Technische Bundesanstalt (Germany) )
さらに 19 件
掲載資料名:
EMLC 2005 : 21st European Mask and Lithography Conference : 31 January-3 February, 2005, Dresden, Germany
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5835
発行年:
2005
開始ページ:
122
終了ページ:
133
総ページ数:
12
出版情報:
Bellingham, Wash.,: SPIE - The International Society of Optical Engineering
ISSN:
0277786X
ISBN:
9780819458308 [0819458309]
言語:
英語
請求記号:
P63600/5835
資料種別:
国際会議録

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