INFLUENCE OF THE ROTATION IN THE CZ FURNACE UPON THE OXYGEN CONCENTRATION IN THE Si CRYSTAL

著者名:

• Togawa, S.
• Yokotani, A.
• Kimura, S.
• Shiraishi, Y.
• Imai, M.

掲載資料名:

Proceedings of the Seventh International Symposium on Silicon Materials Science and Technology

シリーズ名:

Electrochemical Society Proceedings Series

シリーズ巻号:

1994-10

発行年:

1994

開始ページ:

90

終了ページ:

103

総ページ数:

14

出版情報:

Pennington, NJ: Electrochemical Society

ISSN:

01616374

ISBN:

9781566770422 [1566770424]

言語:

英語

請求記号:

E23400/941387

資料種別:

国際会議録