Blank Cover Image

CRITICAL ASPECTS OF WAFER CLEANING AND GATE OXIDE INTEGRITY

著者名:
Mertens, P.W.
Meuris, M.
Schmidt, H.F.
Verhaverbeke, S.
Heyns, M.M.
Carr, P.
Graeff, D.
Schnegg, A.
Kubota, M.
Dillenbeck, K.
de Blank, R.
さらに 6 件
掲載資料名:
Proceedings of the Satellite Symposium to ESSDERC 93 Grenoble/France : crystalline defects and contamination: their impact and control in device manufacturing
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
1993-15
発行年:
1993
開始ページ:
87
終了ページ:
102
総ページ数:
16
出版情報:
Pennington, NJ: Electrochemical Society
ISSN:
01616374
ISBN:
9781566770590 [1566770599]
言語:
英語
請求記号:
E23400/932030
資料種別:
国際会議録

類似資料:

Verhaverbeke, S., Meuris, M., Mertens, P., Schmidt, H., Heyns, M.M., Philipossian, A., Graeff, D., Dillenbeck, K.

Electrochemical Society

Mertens, P.W., Verhaverbeke, S., Heyns, M.M., Hellemans, L., Snauwaert, J., Dillenbeck, K.

Electrochemical Society

Heyns, M. M., Verhaverbeke, S., Meuris, M., Mertens, P. W., Schmidt, H., Kubota, M., Philipossian, A., Dillenbeck, K., …

MRS - Materials Research Society

Teerlinck, I., Schmidt, H.F., Rotondaro, A.L.P., Hurd, T.Q., Mouche, L., Mertens, P.W., Meuris, M., Heyns, M.M., …

Electrochemical Society

Verhaverbeke, S., Bender, H., Meuris, M., Mertens, P. W., Schmidt, H. F., Heyns, M. M.

MRS - Materials Research Society

Schmidt, H.F, Teerlinck, I., Meuris, M., Mertens, P.W., Heyns, M.M.

Electrochemical Society

Meuris, M., Verhaverbeke, S., Mertens, P.W., Schmidt, H.F., Rotondaro, A.L.P., Heyns, M.M., Philipossian, A.

Electrochemical Society

Teerlinck, I., Mertens, P.W., Vos, R., Meuris, M., Heyns, M.M.

Electrochemical Society

Mertens, P.W., Hurd, T.Q., Graf, D., Meuris, M., Schmidt, H.F., Heyns, M.M.

Electrochemical Society

Verhaverbeke, S., Alay, J., Mertens, P., Meuris, M., Heyns, M., Vandervorst, W., Murrell, M., Sofield, C.

Materials Research Society

Verhaverbeke, S., Meuris, M., Schmidt, H., Mertens, P., Heyns, M.

Electrochemical Society

Elsmore, C., Hurd, T.Q., Clarke, J., Meuris, M., Mertens, P.W., Heyns, M.M.

Electrochemical Society

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12