Blank Cover Image

EFFECT OF RIE SEQUENCE AND POST-RIE SURFACE PROCESSING ON THE RELIABILITY OF GATE OXIDE lN A TRENCH

著者名:
Grebs, T.
Ridley, R.
Chang, K.
Wu, C.-T.
Agarwal, R.
Mytych, J.
Dimachkie, W.
Dolny, G.
Michalowicz, J.
Ruzyllo, J.
さらに 5 件
掲載資料名:
Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
2003-26
発行年:
2003
開始ページ:
108
終了ページ:
115
総ページ数:
8
出版情報:
Pennington, NJ: Electrochemical Society
ISSN:
01616374
ISBN:
9781566774116 [156677411X]
言語:
英語
請求記号:
E23400/200326
資料種別:
国際会議録

類似資料:

Wu, C.T., Ridley, R., Dolny, G., Grebs, T., Hao, J., Suliman, S., Venkataraman, B., Awadelkarim, O., Williams, R., …

Electrochemical Society

Hwang, D.K., Ruzyllo, J., Grant, R.

Electrochemical Society

Ridley, R., Wu, C.-T., Roman, P., Dolny, G., Grebs, T., Stensney, F., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

T. Kojima, S. Harada, K. Ariyoshi, J. Senzaki, M. Takei

Trans Tech Publications

K. Chang, T. Witt, A. Hoff, R. Woodin, R. Ridley, G. Dolny, K. Shanmugasundaram, E. Oborina, J. Ruzyllo

Electrochemical Society

Zhu, X., Greve, D.W., Lawton, R., Presser, N., Fedder, G.K.

Electrochemical Society

Ridley, R.S., Brozek, T., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

Roman, P., Lee, D.-O., Wang, J., Wu, C.-T., Subramanian, V., Brubaker, M., Mumbauer, P., Grant, R., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

Mao, E., Chen, R., Sn, W., Chang, T.

Electrochemical Society

Hwang, D.K., Ruzyllo, J., Kamieniecki, E.

Electrochemical Society

K. Shanmugasundaram, K. Chang, J. Ruzyllo

Electrochemical Society

Chang, K., Shanmugasundaram, K., Lee, D.-O., Roman, P., Shallenberger, J., Chang, F.-M., Wang, J., Beck, R., Mumbauer, …

Electrochemical Society

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12