Blank Cover Image

STUDY OF THE EFFECT OF SILICON SURFCE TREATMENT ON EOT IN HIGH-k DIELECTRIC MOS GATE STACK

著者名:
Chang, K.
Shanmugasundaram, K.
Lee, D.-O.
Roman, P.
Shallenberger, J.
Chang, F.-M.
Wang, J.
Beck, R.
Mumbauer, P.
Grant, R.
Ruzyllo, J.
さらに 6 件
掲載資料名:
Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VIII : proceedings of the international symposium
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
2003-26
発行年:
2003
開始ページ:
78
終了ページ:
85
総ページ数:
8
出版情報:
Pennington, NJ: Electrochemical Society
ISSN:
01616374
ISBN:
9781566774116 [156677411X]
言語:
英語
請求記号:
E23400/200326
資料種別:
国際会議録

類似資料:

Chang, K., Shallenberger, J., Chang, F.-M., Shanmugasundaram, K., Roman, P., Mumbauer, P., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

Shanmugasundaram, K., Chang, K., Shallenberger, J., Danel, A., Tardif, F., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

Lee, D., Roman, P., Mumbauer, P., Grant, R., Horn, M., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

Ruzyllo,J., Roman,P., Lee,D.-O., Brubaker,M., Kamieniecki,E.

SPIE - The International Society for Optical Engineering

Roman, P., Lee, D.-O., Wang, J., Wu, C.-T., Subramanian, V., Brubaker, M., Mumbauer, P., Grant, R., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

Chong, K., Lee, D.-O., Shanmugosondoroni, K., Romon, P., Shallenberger, J., Wang, I., Mumbaner, P., Grant, R., Rusyllo, …

Electrochemical Society

Roman, P., Lee, D., Mumbauer, P., Grant, R., Kamieniecki, E., Ruzyllo, J.

Electrochemical Society

K. Chang, T. Witt, A. Hoff, R. Woodin, R. Ridley, G. Dolny, K. Shanmugasundaram, E. Oborina, J. Ruzyllo

Electrochemical Society

Roman, P., Lee, D.D., Wang, J., Mumbauer, P., Grant, R., Tower, J., Kamieniecki, E., Lukasiak, L., Ruzyllo, aud J.

Electrochemical Society

O. O. Awadelkarim, J. Jiang, S. A. Suliman, K. Saipatwari, L. J. Passmore, D. Lee, P. Roman, J. Ruzyllo

Electrochemical Society

K. Shanmugasundaram, K. Chang, J. Ruzyllo

Electrochemical Society

K. Shanmugasundaram, S. Price, K. Chang, D. Lee, J. Ruzyllo

Electrochemical Society

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12