Blank Cover Image

SUB 1OOnm PARTICLE REMOVAL WITH DEIONIZED WATER AND A MEGASONIC FREQUENCY OF 835kHz

著者名:
Lauerhaas, J.
Wu, Y.
Xu, K.
Vereecke, G.
Vos, R.
Kenis, K.
Mertens, P.
Nicolosi, T.
Heyns, M.
さらに 4 件
掲載資料名:
Cleaning technology semiconductor device manufacturing : proceedings of the seventh international symposium
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
2001-26
発行年:
2001
開始ページ:
147
終了ページ:
155
総ページ数:
9
出版情報:
Pennington, N.J.: Electrochemical Society
ISSN:
01616374
ISBN:
9781566773591 [1566773598]
言語:
英語
請求記号:
E23400/200126
資料種別:
国際会議録

類似資料:

Vereecke, G., Holsteyns, F., Veltens, J., Lux, M., Amauts, S., Kenis, K., Vos, R., Mertens, P., Heyns, M.

Electrochemical Society

J. Snow, R. Vos, K. G. Anil, H. Kraus, K. Xu, F. Grinninger, G. Wagner, F. Kovacs, P. W. Mertens

Electrochemical Society

Xu, K., Vos, R., Vereecke, G., Mertens, P., Heyns, M., Vinckier, C., Fransaer, J.

Electrochemical Society

Cohen, S. L., Rath, D., Lee, G., Furman, B., Pope, K. R., Tsai, R., Syverson, W., Gow, C., Liehr, M.

MRS - Materials Research Society

Holsteyns, F., Riskin, A., Maes, A., Vereecke, G., Mertens, P.W.

Electrochemical Society

Mertens, P.W., Bearda, T., Lowewenstein, L.M., Martin, A.R., Hub, W., Kolbesen, B.O., Teerlink, I., Vos, R., Baeyens, …

Electrochemical Society

Xu, K., Vos, R., Arnauts, S., Lux, M., Schaetzlein, W., Speh, U., Mertens, P., Heyns, M., Vinckier, C.

Electrochemical Society

Resnick, P.J., Adkins, C.L.J., Clews, P.J., Thomas, E.V., Cannaday, S.T.

Electrochemical Society

Kesters, E., Ghekiere, J., Van Doorne, P., Vereecke, G., Mertens, P.W., Heyns, M.M.

Electrochemical Society

Vos, R., Meuris, M., Mertens, P., Heyns, M., Hatcher, Z.

Electrochemical Society

T. Janssens, K.L. Wostyn, S. Arnauts, A. De Geyter, T. Bearda

Electrochemical Society

Mertens, P., Baeyens, M., Moyaerts, G., Okorn-Schmidt, H., Vos, R., De Waele, R., Hatcher, Z., Hub, W., De Gendt, S., …

Electrochemical Society

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12