EVALUATION OF OZONATED WATER SPRAY FOR RESIST CLEANING APPLICATIONS
- 著者名:
De Gendt, S. Lux, M. Claes, M. Van Hoeymissen, J. Conrad, T. Worth, W. Lagrange, S. Bergman, E. Jassal, A.S. Mertens, P.W. Heyns, M.M. - 掲載資料名:
- Cleaning technology in semiconductor device manufacturing : proceedings of the sixth international symposium
- シリーズ名:
- Electrochemical Society Proceedings Series
- シリーズ巻号:
- 99-36
- 発行年:
- 1999
- 開始ページ:
- 391
- 終了ページ:
- 398
- 総ページ数:
- 8
- 出版情報:
- Pennington, NJ: Electrochemical Society
- ISSN:
- 01616374
- ISBN:
- 9781566772594 [1566772591]
- 言語:
- 英語
- 請求記号:
- E23400/99-36
- 資料種別:
- 国際会議録
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