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ENERGETICS AND KINETICS OF EXTENDED (311) DEFFECTS IN Si

著者名:
掲載資料名:
Proceedings of the Fifth International Symposium of Process Physics and Modeling in Semiconductor Technology
シリーズ名:
Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号:
99-2
発行年:
1999
開始ページ:
143
終了ページ:
152
総ページ数:
10
出版情報:
Pennington, New Jersey: Electrochemical Society
ISSN:
01616374
ISBN:
9781566772242 [1566772249]
言語:
英語
請求記号:
E23400/99-2
資料種別:
国際会議録

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