Optical testing of long cylindrical lenses by means of scanning deflectometry

著者名:

• Amstel,W.D.van
• Goor,P.F.A.van de
• Horijon,J.L.
• Nuyens,P.G.J.M.

掲載資料名:

Optical metrology roadmap for the semiconductor, optical, and data storage industries , 30-31 July 2000, San Diego, USA

シリーズ名:

Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering

シリーズ巻号:

4099

発行年:

2000

開始ページ:

131

終了ページ:

141

総ページ数:

11

出版情報:

Bellingham, Wash., USA: SPIE-The International Society for Optical Engineering

ISSN:

0277786X

ISBN:

9780819437440 [0819437441]

言語:

英語

請求記号:

P63600/4099

資料種別:

国際会議録