1.

Conference Proceedings

Conference Proceedings
Mizoguchi, H. ; Inoue, T. ; Fujimoto, J. ; Yamazaki, T. ; Suzuki, T. ; Matsunaga, T. ; Sakanishi, S. ; Kaminishi, M. ; Watanabe, Y. ; Ohta, T. ; Nakane, M. ; Moriya, M. ; Nakaike, T. ; Shinbori, M. ; Yoshino, M. ; Kawasuji, T. ; Nogawa, H. ; Ito, T. ; Umeda, H. ; Tanaka, S. ; Taniguchi, H. ; Sasaki, Y. ; Kinoshita, J. ; Abe, T. ; Tanaka, H. ; Hayashi, H. ; Miyao, K. ; Niwano, M. ; Kurosu, A. ; Yashiro, M. ; Nagano, H. ; Matsui, N. ; Mimura, T. ; Kakizaki, K. ; Goto, M.
Pub. info.: Optical microlithography XVIII : 1-4 March, 2005, San Jose, California, USA.  pp.69-79,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
Title of ser.: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
Ser. no.: 5754
2.

Technical Paper

Technical Paper
Cho, C. ; Higashi, S. ; Hiraoka, N. ; Maruyama, A. ; Ozaki, S. ; Sato, T. ; Suwada, T. ; Takahashi, T. ; Umeda, H. ; Tsuji, K.
Pub. info.: NASA Technical Reports.  (NASA-CP-2376-Vol-8),  pp.1-4,  1985.  National Aeronautics and Space Administration
3.

Technical Paper

Technical Paper
Nii, N. ; Mizutzni, K. ; Aoki, T. ; Kitamura, T. ; Mitsui, K. ; Matsuno, S. ; Muraki, Y. ; Ohashi, Y. ; Okada, A. ; Kamiya, Y. ; Nakmura, I. ; Shibata, S. ; Kojima, H. ; Higashi, S. ; Takahashi, T. ; Umeda, H. ; Sato, T. ; Hiraoka, N. ; Suwada, T. ; Chang, S. ; Kujirai, H. ; Minorikawa, S. ; Kobayashi, K. ; Kobayakawa, K. ; Inazawa, H. ; Mizushima, K. ; Shibata, H.
Pub. info.: NASA Technical Reports.  (NASA-CP-2376-Vol-8),  pp.1-4,  1985.  National Aeronautics and Space Administration