1.
Conference Proceedings |
Paulsson, A. ; Xing, K. ; Fosshaug, H. ; Lundvall, A. ; Bjornberg, C. ; Karlsson, J.
|
|||||||
2.
Conference Proceedings |
Ooij, W.J. van ; Tang, N. ; Hornstrom, S.-E. ; Karlsson, J.
|
|||||||
3.
Technical Paper |
Hannius, O. ; Ring, D. ; Karlsson, J.
|
|||||||
4.
Technical Paper |
Karlsson, J. ; Stenlaas, O.
|
|||||||
5.
Technical Paper |
Bergenhem, C. ; Karlsson, J. ; Sivencrona, H.
|
|||||||
6.
Conference Proceedings |
Xing, K. ; Karlsson, J. ; Paulson, A. ; Bjornberg, C. ; Lundvall, A. ; Hogfeldt, P. ; Vedenpaa, J. ; Goodoree, R. ; Bjuggren, M.
|
|||||||
7.
Conference Proceedings |
Sjoberg, H. ; Chauvet, J.-M. ; Harkesjo, J. ; Hogfeldt, P. ; Karawajczyk, A. ; Karlsson, J. ; Kjellberg, L. ; Mahlen, J. ; Beyerl, A. ; Vedenpaa, J. ; Goodoree, R. ; Bjuggren, M. ; Aman, J.
|
|||||||
8.
Conference Proceedings |
Bjyrnyngen, P. ; Ekberg, M. ; ystrym, T. ; Fosshaug, H.A. ; Karlsson, J. ; Bjyrnberg, C. ; Nikolajeff, F.K. ; Karlsson, M.
|
|||||||
9.
Conference Proceedings |
Fosshaug, H.A. ; Bajramovic, A. ; Karlsson, J. ; Xing, K. ; Rosendahl, A. ; Dahlberg, A. ; Bjoernberg, C. ; Bjuggren, M. ; Sandstrom, T.
|
|||||||
10.
Conference Proceedings |
10. Properties of a 248-nm DUV laser mask pattern generator for the 90-nm and 65-nm technology nodes
Aman, J. ; Fosshaug, H.A. ; Hedqvist, T. ; Harkesjo, J. ; Hogfeldt, P. ; Jacobsson, M. ; Karawajczyk, A. ; Karlsson, J. ; Rosling, M. ; Sjoberg, H.J.
|