1.
Conference Proceedings |
Van Den Broeke, D. ; Hsu, M. ; Chen, F. J. ; Hsu, S. ; Hollerbach, U. ; Laidig, Y.
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2.
Conference Proceedings |
2. Model-based scattering bars implementation for 65nm and 45nm nodes using IML technology [5853-50]
Hsu, M. ; Van Den Broeke, D. ; Laidig, T. ; Wampler, K. E. ; Hollerbach, U. ; Socha, R. ; Chen, J. F. ; Hsu, S. ; Shi, X.
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3.
Conference Proceedings |
Roy, S. ; Chen, J.F. ; Liebchen, A. ; Laidig, T.L. ; Wampler, K.E. ; Hollerbach, U.
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4.
Conference Proceedings |
Van Den Broeke, D.J. ; Socha, R. ; Hsu, S.D. ; Chen, J.F. ; Laidig, T.L. ; Corcoran, N. ; Hollerbach, U. ; Wampler, K.E. ; Shi, X.
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5.
Conference Proceedings |
Socha, R.J. ; Van Den Broeke, D.J. ; Hsu, S.D. ; Chen, J.F. ; Laidig, T.L. ; Corcoran, N. ; Hollerbach, U. ; Wampler, K.E. ; Shi, X. ; Conley, W.
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6.
Conference Proceedings |
Shi, X. ; Laidig, T.L. ; Chen, J.F. ; Van Den Broeke, D.J. ; Hsu, S.D. ; Hsu, M. ; Wampler, K.E. ; Hollerbach, U.
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7.
Conference Proceedings |
Socha, R.J. ; Van Den Broeke, D.J. ; Hsu, S.D. ; Chen, J.F. ; Laidig, T.L. ; Corcoran, N.P. ; Hollerbach, U. ; Wampler, K.E. ; Shi, X. ; Conley, W.E.
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8.
Conference Proceedings |
Chen, J. F. ; Broeke, D. van den ; Hsu, S. ; Hsu, M. C.W. ; Laidig, T. ; Shi, X. ; Chen, T. ; Socha, R. J. ; Hollerbach, U. ; Wampler, K. E. ; Park, J. ; Park, S. ; Gronlund, K.
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9.
Conference Proceedings |
Van Den Broeke, D. ; Shi, X. ; Socha, R. ; Laidig, T. ; Hollerbach, U. ; Wampler, K. E. ; Hsu, S. ; Chen, J. F. ; Corcoran, N. P. ; Dusa, M. V. ; Park, J. C.
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10.
Conference Proceedings |
Shi, X. ; Laidig, T. ; Chen, J. F. ; Van Den Broeke, D. ; Hsu, S. ; Hsu, M. ; Wampler, K. E. ; Hollerbach, U. ; Park, J. C. ; Yu, L.
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