1.
Conference Proceedings |
B. Finke ; M. Polak ; F. Hempel ; K. Schroeder ; G. Lukowski
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2.
Conference Proceedings |
J. Roepcke ; S. Glitsch ; F. Hempel ; M. Huebner ; N. Lang ; U. Macherius ; H. Pridoehl ; S. Saβ ; G.D Stancu ; K.-D. Weltmann ; S. Welzel ; H. Zimmermann
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3.
Conference Proceedings |
3. On the Application of Quantum Cascade Laser-Absorption Spectroscopy for Plasma Process Monitoring
J. Röpcke ; S. Glitsch ; F. Hempel ; S. Saβ ; K.-D. Schulz ; K.-D. Weltmann ; H. Zimmermann
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4.
Conference Proceedings |
B. Schulz ; R. Seltmann ; J. Busch ; F. Hempel ; E. Cotte ; B. Alles
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