1.
Conference Proceedings |
Klemens, F.P. ; Baumann, F.H. ; Kornblit, A. ; Layadi, N. ; Lee, H. ; Maynard, H.L. ; Mytych, J.M. ; Sorch, T.W. ; Tennant, D.M. ; Timp, G.L. ; Lee, J.T.C.
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2.
Conference Proceedings |
Hergenrother, J.M. ; Oh, S.H. ; Nigam, T. ; Monroe, D. ; Klemens, F.P. ; Kornblit, A. ; Baumann, F.H. ; Grazul, J.L. ; Johnson, R.W. ; King, C.A. ; Kleiman, R.N.
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3.
Conference Proceedings |
Lee, J.T.C. ; Colonell, J.J. ; Klemens, F.P. ; Baumann, F.H. ; Kornblitt, A. ; Lee, H. ; Maynard, H.L. ; Sorsch, T.W. ; Timp, G.L. ; Layadi, N. ; Malyshev, M.V. ; Donnelly, V.M. ; Ciampa, N.A.
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4.
Conference Proceedings |
4. NUMERICAL SIMULATIONS OF SPUTIER DEPOSITION AND ETCHING IN TRENCHES USING THE LEVEL SET TECHNIQUE
Suhlivan, P.O. ; Baumann, F.H. ; Gilzner, O.H.
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5.
Conference Proceedings |
Mastrapasqua, M. ; Esseni, D. ; Celler, G.K. ; Baumann, F.H. ; Fiegna, C. ; Selmi, L. ; Sangiorgi, E.
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6.
Conference Proceedings |
Stuart, H.R. ; Baumann, F.H. ; Wong-Foy, A.
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