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Experimentelle und theoretische Untersuchung der Elektronenstrahldirektbelichtung zur Herstellung von Halbleitersubmikronstrukturen - Waferverzuge - Resistvergleich

Author(s):
  • Stephani, Dietrich ( Institut fur Halbleitertechnik der Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule )
  • Kratschmer, Ernst ( Institut fur Halbleitertechnik der Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule )
  • Gellrich, Norbert ( Institut fur Halbleitertechnik der Rheinisch-Westfalischen Technischen Hochschule )
Publication title:
NASA Technical Reports
Pub. Year:
1983
No.:
N84-11414
Paper no.:
N84-11414
Page(from):
1
Page(to):
122
Pages:
122
Pub. info.:
National Aeronautics and Space Administration
Language:
German
Type:
Technical Paper

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