Blank Cover Image

Silicon Oxide Sacrificial Layer for MEMS Applications

Author(s):
Biasotto, C.
Boscoli, F. A.
Teixeira, R. C.
Ramos, A. C. S.
Diniz, J. A.
Daltrini, A. M.
Moshkalyov, S. A.
Doi, I.
3 more
Publication title:
Microelectronics technology and devices : SBMICRO 2005 : proceedings of the twentieth international symposium
Title of ser.:
Electrochemical Society Proceedings Series
Ser. no.:
2005-08
Pub. date:
2005
Page(from):
389
Page(to):
397
Pages:
9
Pub. info.:
Pennington, N.J.: Electrochemical Society
ISSN:
01616374
ISBN:
9781566774260 [1566774268]
Language:
English
Call no.:
E23400/200508
Type:
Conference Proceedings

Similar Items:

Biasotto, C., Monte, B., Neli, R. R., Ramos, A. C. S., Diniz, J. A., Moshkalyov, S.A., Doi, I., Swart, J. W.

Electrochemical Society

Teixeira, R. C., Doi, I., Zakia, M. B. P., Diniz, J. A.

Electrochemical Society

Daltrini, A. M., Moshkalyov, S. A., Ramos, A. C. S., Swart, J. W.

Electrochemical Society

Manera, G. A., Diniz, J. A., Moshkalyov, S. A., Lujan, G. S., Doi, I., Swart, J. W.

Electrochemical Society

Scoralick Junior, C., Doi, I., Teixeira, R. C., Diniz, J. A., Swart, J. W.

Electrochemical Society

Teixeira, R. C., Doi, I., Diniz, J. A., Swart, J. W., Zakia, M. B. P., dos Santos Filho, S. G.

Electrochemical Society

Santos, R. E., Doi, I., Teixeira, R. C., Diniz, J. A., Swart, J. W., dos Santos, S. G.

Electrochemical Society

Vieira, R., Martarello, V., Moshkalyov, S. A., Diniz, J. A., Swart, J. W.

Electrochemical Society

Mestanza, S. N. M., Biasotto, C., Costa, A. C., Dias, G. O., Doi, I., Diniz, J. A., Swart, J. W.

Electrochemical Society

Oliveira, A. C. Jr.,, Doi, I., Diniz, J. A.

Electrochemical Society

Fioravante, N. P. Jr., Manera, L. T., Moshkalyov, S. A., Diniz, J. A., Tatsch, P. J., Grados, H. R. J., Doi, I., Swart, …

Electrochemical Society

Wiser, R.F., Chung, J., Mehregany, M., Zorman, C.A.

Materials Research Society

1
 
2
 
3
 
4
 
5
 
6
 
7
 
8
 
9
 
10
 
11
 
12