Skip to main content
東京工業大学附属図書館
文献データベース
図書館トップページ
電子ジャーナルリスト
オンラインリクエスト
新着図書
新着雑誌
蔵書検索
文献DB
資料名DB
横断検索
貸出ランキング
東工大ブックレビュー
ヘルプ
English
日本語
English
日本語
東京工業大学附属図書館が所蔵する国際会議録に収録された論文、テクニカルペーパーの文献情報を検索できます。
学内の方は、SwetScan(約17,000タイトルの外国雑誌の目次情報)もあわせて検索できます。
* SwetScanの検索結果には、当館が所蔵していない資料も含まれます。
検索に使用されるデータベース一覧
検索条件をリセット
同じキーワードで他のサイトを検索できます。
CiNii Books
NDL Search
WebcatPlus
amazon
カーリル
WorldCat
絞り込み検索
タイトル:
著者名:
ISSN / ISBN / ペーパー番号:
掲載資料名:
出版者:
発行年:
~
並び替え
関連度
タイトル(昇順)
タイトル(降順)
著者名(昇順)
著者名(降順)
発行年(新しい順)
発行年(古い順)
掲載資料名(昇順)
掲載資料名(降順)
検索条件をリセット
資料種別:
国際会議録
テクニカルペーパー
学術雑誌
選択:
全てをチェック
|
全てのチェックをはずす
表示順選択
並び替え
関連度
タイトル(昇順)
タイトル(降順)
著者名(昇順)
著者名(降順)
発行年(新しい順)
発行年(古い順)
掲載資料名(昇順)
掲載資料名(降順)
検索結果:
3
件
1.
国際会議録
国際会議録
1.
Measurement of lens aberration by using in-situ interferometer and classification of lens for correct application
Seong,N. ; Yeo,G. ; Cho,H. ; Moon,J.
出版情報:
Optical microlithography XIII : 1-3 March 2000, Santa Clara, USA
. Part1 pp.30-39, 2000. Bellingham, Wash., USA. SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4000
2.
国際会議録
国際会議録
2.
Emergence of assist feature OPC era in sub-130-nm DRAM devices
Kim,B. ; Kim,I. ; Yeo,G. ; Lee,J. ; Choi,J. ; Cho,H. ; Moon,J.
出版情報:
20th Annual BACUS Symposium on Photomask Technology
. pp.452-459, 2000. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4186
3.
国際会議録
国際会議録
3.
Lithography process design for 4-Gb DRAM of 0.31 k1 with KrF
Park,J. ; Yeo,G. ; Kim,I. ; Kim,B.-S. ; Lee,J. ; Cho,H. ; Moon,J.T.
出版情報:
Optical Microlithography XIV
. 4346 pp.205-213, 2001. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4346
しぼり込み条件:
著者名: Yeo,G.
言語
英語
(3)
発行年
2000-2009
(3)
資料種別
国際会議録
(3)
著者名
Cho,H.
(3)
Kim,I.
(2)
Lee,J.
(2)
Moon,J.
(2)
Choi,J.
(1)
さらに…
図書館トップページ