1.

国際会議録
国際会議録
1. High Purity SiC EpitaxiaI Growth by Chemical Vapor Deposition Using CH3SiH3 and C3H8 Sources
Hatayama, T. ; Yano, H. ; Uraoka, Y. ; Fuyuki, T.
出版情報: Silicon carbide and related materials - 2005 : proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials - 2005 : Pittsburgh, Pennsylvania, USA : September 18-23 2005.  pp.203-206,  2006.  Stafa-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 527-529
2.

国際会議録
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2. 3-Dimensional Non-Destructive Dislocation Analyses in SiC Measured by Planar Electron-Beam-Induced Current Method
Yanagisawa, Y. ; Hatayama, T. ; Yano, H. ; Uraoka, Y. ; Fuyuki, T.
出版情報: Silicon carbide and related materials - 2005 : proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials - 2005 : Pittsburgh, Pennsylvania, USA : September 18-23 2005.  pp.423-426,  2006.  Stafa-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 527-529
3.

国際会議録
国際会議録
3. Reduction of Fluoride Species and Surface Roughness by H2 Gas Addition in SiC Dry Etching
Mikami, H. ; Horie, Y. ; Hatayama, T. ; Yano, H. ; Uraoka, Y. ; Fuyuki, T.
出版情報: Silicon carbide and related materials 2004 : ECSCRM 2004 : proceedings of the 5th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials, August 31 - September 4 2004, Bologna, Italy.  pp.757-760,  2005.  Uetikon-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 483-485
4.

国際会議録
国際会議録
4. First detection of OH emission from meteor and afterglow: Search for organics in cometary meteoroids
Abe, S. ; Yano, H.
出版情報: Proceedings of asteroids, comets, meteors : ACM 2002 : 29 July -2 August 2002, Technical University Berlin, Berlin, Germany.  pp.213-216,  2002.  Noordwijk.  ESA Publications Division
シリーズ名: ESA SP
シリーズ巻号: 500
5.

国際会議録
国際会議録
5. Characterization of 4H-SiC MOSFETs with NO-Annealed CVD Oxide
Yano, H. ; Hatayama, T. ; Uraoka, Y. ; Fuyuki, T.
出版情報: Silicon carbide and related materials - 2005 : proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials - 2005 : Pittsburgh, Pennsylvania, USA : September 18-23 2005.  pp.971-974,  2006.  Stafa-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 527-529
6.

国際会議録
国際会議録
6. Characterization of 4H-SiC MOSFETs Formed on the Different Trench Sidewalls
Nakao, H. ; Mikami, H. ; Yano, H. ; Hatayama, T. ; Uraoka, Y. ; Fuyuki, T.
出版情報: Silicon carbide and related materials - 2005 : proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials - 2005 : Pittsburgh, Pennsylvania, USA : September 18-23 2005.  pp.1293-1296,  2006.  Stafa-Zuerich.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 527-529
7.

国際会議録
国際会議録
7. 4H-SiC MOSFETs on (03-38) Face
Hirao, T. ; Yano, H. ; Kimoto, T. ; Matsunami, H. ; Shiomi, H.
出版情報: Silicon carbide and related materials 2001 : ICSCRM2001, proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2001, Tsukuba, Japan, October 28-November 2, 2001.  pp.1065-1068,  2002.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 389-393
8.

国際会議録
国際会議録
8. Improvement of SiO2/α-SiC Interface Properties by Nitrogen Radical Treatment
Maeyama, Y. ; Yano, H. ; Hatayama, T. ; Uraoka, Y. ; Fuyuki, T. ; Shirafuji, T.
出版情報: Silicon carbide and related materials 2001 : ICSCRM2001, proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2001, Tsukuba, Japan, October 28-November 2, 2001.  pp.997-1000,  2002.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 389-393
9.

国際会議録
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9. 4H-SiC MOSFETs on (03-38) Face
Hirao, T. ; Yano, H. ; Kimoto, T. ; Matsunami, H. ; Shiomi, H.
出版情報: Silicon carbide and related materials 2001 : ICSCRM2001, proceedings of the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2001, Tsukuba, Japan, October 28-November 2, 2001.  pp.1065-1068,  2002.  Zuerich, Switzerland.  Trans Tech Publications
シリーズ名: Materials science forum
シリーズ巻号: 389-393
10.

国際会議録
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10. Photo-enhanced Electrochemical Mechanical Polishing for Cu Damascene
Yano, H. ; Matsui, Y. ; Minamihaba, G. ; Tateyama, Y.
出版情報: Chemical Mechanical Planarization : proceedings of the International Symposium.  pp.71-78,  2002.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-1