1.

国際会議録
国際会議録
1. Cutting glass by laser
Kang,H.-S. ; Hong,S.-K. ; Oh,S.-C. ; Choi,J.-Y. ; Song,M.-G.
出版情報: Second International Symposium on Laser Precision Microfabrication : 16-18 May 2001, Singapore.  pp.367-370,  2001.  Bellingham, Wash., USA.  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4426
2.

国際会議録
国際会議録
2. Optimizing of thin-film interference effects in KrF lithography for 0.15-ｦﾌm design rules
Oh,S.-C. ; Kim,Y.-C. ; Nah,S.-H. ; Huh,H. ; Han,S.-B.
出版情報: Advances in resist technology and processing XVII : 28 February - 1 March 2000, Santa Clara, USA.  Part2  pp.926-934,  2000.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3999