1.

テクニカルペーパー

テクニカルペーパー
Lin, H.-T. ; Ferber, M.K. ; Kirkland, T.P. ; Zemskova, S.M.
出版情報: A.S.M.E. paper.  2003.  New York, NY.  American Society of Mechanical Engineers
シリーズ名: ASME Technical Paper : GT
シリーズ巻号: 2003
2.

国際会議録

国際会議録
Ke, C.-M. ; Yu, S.-S. ; Wang, Y.-H. ; Chou, Y.-J. ; Chen, J.-H. ; Lee, B.-H. ; Chu, H.-Y. ; Lin, H.-T. ; Gau, T.-S. ; Lin, C.-H. ; Ku, Y.-C. ; Lin, B.J. ; Huang, J. ; Hsu, J.J. ; Liu, V. ; Hetzer, D. ; Yap, L. ; Yang, W. ; Araki, K.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XVIII.  pp.597-604,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5375