1.

国際会議録
国際会議録
1. Recent Progress in Low-Dose SIMOX Wafers Fabricated with Lateral-Thermal Oxidation (ITOX) Process (Invited)
Matsumura, A ; Kawamura, K ; Mizutani, T ; Takaysma, S ; Hamaguchi, I ; Nagatake, Y
出版情報: Proceedings of the Ninth International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices.  pp.79-92,  1999.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 99-3
2.

国際会議録
国際会議録
2. Quality innovation of SIMOX wafers by low dose and high temperature oxidation techniques
Tachimori, M ; Masui, S ; Nakajima, T ; Kawamura, K ; Hamaguchi, I ; Yano, T ; Nagatake, Y
出版情報: Proceedings of the Seventh International Symposium on Silicon-on-Insulator Technology and Devices.  pp.53-62,  1995.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 96-3