1.

国際会議録
国際会議録
1. Inverse Micro-loading Effect in Reactive Ion Etching of Silicon
Jensen, S. ; Hansen, O.
出版情報: Plasma processing XIV : proceedings of the international symposium.  pp.218-226,  2002.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2002-17
2.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
2. A General Overview of the Data Acquisition and Controls Systems (DACS) of the E-Complex at NASA's Stennis Space Center
Hughes, M. ; Hebert, P. ; Davis, D. ; Jensen, S. ; Abell, F.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2004.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA Aerodynamic Measurement Technology and Ground Test Conference
シリーズ巻号: 24th
3.

テクニカルペーパー
テクニカルペーパー
3. Design and Testing of a Collapsible Drogue Parachute for the X-37 Vehicle
Hennings, E. ; Wolf, D. ; Whitmore, T. ; Jensen, S.
出版情報: AIAA meeting papers on disc.  2005.  [Reston, Va.].  American Institute of Aeronautics and Astronautics
シリーズ名: AIAA Paper : AIAA Aerodynamic Decelerator Systems Technology Conference
シリーズ巻号: 18th
4.

国際会議録
国際会議録
4. Uniformity-improving dummy structures for deep reactive ion etching (DRIE) processes
Jensen, S. ; Jensen, J.M. ; Quaade, U.J. ; Hansen, O.
出版情報: Micromachining and Microfabrication Process Technology X.  pp.39-46,  2005.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5715
5.

国際会議録
国際会議録
5. Characterization of the microloading effect in deep reactive ion etching of silicon
Jensen, S. ; Hansen, O.
出版情報: Micromachining and Microfabrication Process Technology IX.  pp.111-118,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5342