1.

国際会議録
国際会議録
1. Digital SPV Diffusion Length Metrology (E8-Fe) for Ultra-High Purity Silicon Wafers
M. Wilson ; A. Savtchouk ; I. Tasarov ; J. D'Amico ; P. Edelman
出版情報: High Purity Silicon 10.  pp.285-301,  2008.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 16(6)
2.

国際会議録
国際会議録
2. Manifestation of Cu Impurities on Silicon Surfaces, Implication for Monitoring Cu Contamination
M. Wilson ; A. Savtchouk ; J. D'Amico ; I. Tasarov ; L. Jastrzebski
出版情報: Analytical and diagnostic techniques for semiconductor materials, devices and processes 7.  pp.347-361,  2007.  Pennington, N.J..  Electrochemical Society
シリーズ名: ECS transactions
シリーズ巻号: 11(3)