1.
国際会議録
MacDonald, J.S. ; Engelstad, R.L. ; Lovell, E.G.
出版情報:
Proceedings of IMAC-XX : a Conference on Structural Dynamics, February 4-7, 2002, The Westin Los Angeles Airport, Los Angeles, California . Volume II pp.991-997, 2002. Bethel, CT. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4753
2.
国際会議録
Wei, A.C. ; Hughes, G.P. ; Chalekian, A.J. ; Mackey, L.N. ; Mikkelson, A.R. ; Engelstad, R.L.
出版情報:
Optical Microlithography XVI . Part One pp.182-192, 2003. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5040
3.
国際会議録
Greschner, J. ; Bayer, T. ; Kalt, S. ; Weiss, H. ; Reu, P.L. ; Engelstad, R.L. ; Wood II, O.R. ; Thiel, C.M. ; Gordon, M.S. ; Dhaliwal, R.S. ; Robinson, C.F. ; Pfeiffer, H.C.
出版情報:
19th European Conference on Mask Technology for Integrated Circuits and Microcomponents . pp.218-219, 2003. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5148
4.
国際会議録
Wei, A.C. ; Nellis, G.F. ; Abdo, A.Y. ; Engelstad, R.L. ; Chen, C.-F. ; Switkes, M. ; Rothschild, M.
出版情報:
Optical Microlithography XVI . Part Two pp.713-723, 2003. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5040
5.
国際会議録
Chang, J. ; Engelstad, R.L. ; Lovell, E.G.
出版情報:
Emerging Lithographic Technologies VII . 2 pp.690-699, 2003. Bellingham, WA. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5037
6.
国際会議録
II, O.R.W. ; Reu, P.L. ; Engelstad, R.L. ; Lovell, E.G. ; Lercel, M.J. ; Thiel, C.W. ; Lawliss, M.S. ; Mackay, R.S.
出版情報:
Emerging Lithographic Technologies VII . 1 pp.521-530, 2003. Bellingham, WA. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5037
7.
国際会議録
Cotte, E.P. ; Engelstad, R.L. ; Lovell, E.G. ; Tanzil, D. ; Eschbach, F.O. ; Korobko, Y.O. ; Fujita, M. ; Nakagawa, H.
出版情報:
Optical Microlithography XVI . Part Two pp.1044-1054, 2003. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
5040
8.
国際会議録
Wei, A.C. ; Martin, C.J. ; Beckman, W.A. ; Mitchell, J.W. ; Engelstad, R.L. ; Lovell, E.G. ; Blaedel, K.L.
出版情報:
Emerging Lithographic Technologies VI . Part Two pp.743-754, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4688
9.
国際会議録
Chang, J. ; Martin, C.J. ; Engelstad, R.L. ; Lovell, E.G.
出版情報:
Emerging Lithographic Technologies VI . Part Two pp.755-766, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4688
10.
国際会議録
Martin, C.J. ; Mikkelson, A.R. ; Tejeda, R.O. ; Engelstad, R.L. ; Lovell, E.G. ; Blaedel, K.L. ; Claudet, A.A.
出版情報:
Emerging Lithographic Technologies VI . Part One pp.194-204, 2002. Bellingham, Wash.. SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名:
Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号:
4688