1.

国際会議録
国際会議録
1. Failure analysis of radio frequency (rf) micro-electro-mechanical systems (MEMS)
Walraven,J.A. ; Cole Jr.,E.I. ; Sloan,L.R. ; Hietala,S.L. ; Tigges,C.P. ; Dyck,C.W.
出版情報: Reliability, testing, and characterization of MEMS/MOEMS : 22-24 October 2001, San Trancisco, USA.  pp.254-259,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4558
2.

国際会議録
国際会議録
2. Supercritical carbon dioxide solvent extraction from surface-micromachined micromechanical structures
Dyck,C.W. ; Smith,J.H. ; Miller,S.L. ; Russick,E.M. ; Adkins,C.L.
出版情報: Micromachining and microfabrication process technology II : 14-15 October, 1996, Austin, Texas.  pp.225-235,  1996.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 2879
3.

国際会議録
国際会議録
3. Parallel-plate electrostatic dual-mass resonator
Dyck,C.W. ; Allen,J.J. ; Huber,R.J.
出版情報: Micromachined Devices and Components V.  pp.198-209,  1999.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3876
4.

国際会議録
国際会議録
4. SPICE Level 3 and BSIM3v3.1 characterization of monolithic integrated CMOS-MEMS devices
Staple,B.D. ; Watts,H.A. ; Dyck,C.W. ; Griego,A.P. ; Hewlett,F.W. ; Smith,J.H.
出版情報: Materials and Device Characterization in Micromachining.  pp.410-420,  1998.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 3512