1.

国際会議録
国際会議録
1. Multipoint process monitoring system based on an acousto-optic tunable filter (AOTF)
Kim,D. ; You,J.W. ; Kim,S.H. ; Kong,H.J. ; Lee,Y.W. ; Chegal,W. ; Kwak,Y.K.
出版情報: Optical engineering for sensing and nanotechnology (ICOSN 2001) : 6-8 June 2001, Yokohama, Japan.  pp.202-206,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4416
2.

国際会議録
国際会議録
2. In-situ single-wavelength ellipsometer for a vacuum chamber
Chegal,W. ; Ye,S. ; Cho,H.M. ; Lee,Y.W. ; Kim,S.H. ; Kwak,Y.K.
出版情報: Optical engineering for sensing and nanotechnology (ICOSN 2001) : 6-8 June 2001, Yokohama, Japan.  pp.15-18,  2001.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4416