1.

国際会議録
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1. B(CH3)3 AS P LAYER DOPING GAS
Shen, D. S. ; Chatham, H. ; Schropp, R. E. I.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1990 : symposium held April 17-20, 1990, San Francisco, California, U.S.A..  pp.523-528,  1990.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 192
2.

国際会議録
国際会議録
2. HIGH DEPOSITION RATE p-i-n SOLAR CELLS PREPARED FROM DISILANE USING VHF DISCHARGES
Chatham, H. ; Bhat, P. K.
出版情報: Amorphous silicon technology, 1989 : symposium held April 25-28, 1989, San Diego, California, U.S.A..  pp.447-452,  1989.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 149
3.

国際会議録
国際会議録
3. 33 ALD of Advanced High-k and Metal Gate Stacks for MOS Devices
Gutt, J. ; Gopalan, S. ; Brown, G. A. ; Kirsch, P. D. ; Peterson, J. J. ; Gardner, M. ; Li, H.-J. ; Lysaght, P. ; Alshareef, H. N. ; Choi, K. ; Huffman, C. ; Wen, H. C. ; Majhi, P. ; Lee, B. H. ; Chatham, H. ; Park, S. ; Lanee, S. ; Bartholomew, L. ; Senzaki, Y. (Invited Paper)
出版情報: Advanced gate stack, source/drain and channel engineering for Si-based CMOS, new materials, processes, and equipment : proceedings of the international symposium.  pp.282-292,  2005.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2005-05
4.

国際会議録
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4. COMPARATIVE DISCHARGE DIAGNOSTIC STUDY OF SILANE, DISILANE, AND GERMANE RF DISCHARGES USING OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPY AND MASS SPECTROMETRY
Chatham, H. ; Bhat, P.K.
出版情報: Amorphous silicon technology : symposium held April 5-8, 1988, Reno, Nevada, U.S.A..  pp.31-36,  1988.  Pittsburgh, Pa..  Materials Research Society
シリーズ名: Materials Research Society symposium proceedings
シリーズ巻号: 118
5.

国際会議録
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5. A Novel Atomic Layer Deposition Process to Deposit Hafnium Silicate Thin Films
Senzaki, Y. ; Park, M. ; Bartholomew, L. ; Chatham, H.
出版情報: Advanced short-time thermal processing for Si-based CMOS devices : proceedings of the international symposium.  pp.264-270,  2004.  Pennington, NJ.  Electrochemical Society
シリーズ名: Electrochemical Society Proceedings Series
シリーズ巻号: 2004-01