1.

国際会議録

国際会議録
Hunsche, S. ; Gassner, M. J. ; Schefske, J. A. ; Kent, E. R. ; Acheta, A.
出版情報: Metrology, Inspection, and Process Control for Microlithography XX.  pp.61522U-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6152
2.

国際会議録

国際会議録
Pawloski, A. R. ; Acheta, A. ; Bell, S. ; La Fontaine, B. ; Wallow, T. ; Levinson, H. J.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXIII.  pp.615318-,  2006.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 6153
3.

国際会議録

国際会議録
Fontaine, B.M.L. ; Hauschild, J. ; Dusa, M.V. ; Acheta, A. ; Apelgren, E.M. ; Boonman, M. ; Krist, J. ; Khathuria, A. ; Levinson, H.J. ; Fumar-Pici, A. ; Pieters, M.
出版情報: Optical Microlithography XVI.  Part One  pp.570-581,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5040
4.

国際会議録

国際会議録
La Fontaine, B. ; Dusa, M.V. ; Acheta, A. ; Chen, C. ; Bourov, A. ; Levinson, H.J. ; Litt, L.C. ; Mulder, M. ; Seltman, R. ; van Praagh, J.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part One  pp.44-56,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691
5.

国際会議録

国際会議録
Acheta, A. ; Kye, J. ; Levinson, H.J.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part Two  pp.1474-1479,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691
6.

国際会議録

国際会議録
La Fontaine, B.M. ; Pawloski, A.R. ; Acheta, A. ; Deng, Y. ; Levinson, H.J. ; Spence, C. ; Chovino, C. ; Dieu, L. ; Johnstone, E. ; Kalk, F.
出版情報: 23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology.  pp.995-1005,  2003.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5256
7.

国際会議録

国際会議録
Michaelson, T.B. ; jamieson, A.T. ; Pawloski, A.R. ; Byers, J.D. ; Acheta, A. ; Willson, C.G.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.1282-1294,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
8.

国際会議録

国際会議録
Pawloski, A.R. ; Acheta, A. ; Lalovic, I. ; Fontaine, B.M.L. ; Levinson, H.J.
出版情報: Advances in Resist Technology and Processing XXI.  pp.414-425,  2004.  Bellingham, Wash..  SPIE - The International Society of Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 5376
9.

国際会議録

国際会議録
La Fontaine, B. ; Dusa, M.V. ; Krist, J. ; Acheta, A. ; Kye, J. ; Levinson, H.J. ; Luijten, C. ; Sager, C.B. ; Thomas, J. ; van Praagh, J.
出版情報: Optical Microlithography XV.  Part One  pp.315-324,  2002.  Bellingham, Wash..  SPIE-The International Society for Optical Engineering
シリーズ名: Proceedings of SPIE - the International Society for Optical Engineering
シリーズ巻号: 4691