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温水駆動による積層式Knudsenポンプの試作
Fabrication of Stackable Knudsen Pump Driven by Hot Water

著者名:
掲載資料名:
真空 : journal of the Vacuum Society of Japan
発行年:
2017
巻:
60
号:
12
開始ページ:
481
終了ページ:
483
総ページ数:
3
出版情報:
東京: 真空協会
ISSN:
18822398
言語:
日本語
資料種別:
学術雑誌

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