流路長の長い矩形スリットのコンダクタンス測定
Conductance of a Long Rectangular Channel -Pressure Dependence -
- 著者名:
Norio OGIWARA 荻原 徳男 Yusuke HIKICHI 引地 裕輔 Junichiro KAMIYA 神谷 潤一郎 Michikazu KINSHO 金正 倫計 Hajime YOSHIDA 吉田 肇 Kenta ARAI 新井 健太 - 掲載資料名:
- 真空 : journal of the Vacuum Society of Japan
- 発行年:
- 2017
- 巻:
- 60
- 号:
- 12
- 開始ページ:
- 475
- 終了ページ:
- 480
- 総ページ数:
- 6
- 出版情報:
- 東京: 真空協会
- ISSN:
- 18822398
- 言語:
- 日本語
- 資料種別:
- 学術雑誌
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