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流路長の長い矩形スリットのコンダクタンス測定
Conductance of a Long Rectangular Channel -Pressure Dependence -

著者名:
Norio OGIWARA
荻原 徳男
Yusuke HIKICHI
引地 裕輔
Junichiro KAMIYA
神谷 潤一郎
Michikazu KINSHO
金正 倫計
Hajime YOSHIDA
吉田 肇
Kenta ARAI
新井 健太
さらに 7 件
掲載資料名:
真空 : journal of the Vacuum Society of Japan
発行年:
2017
巻:
60
号:
12
開始ページ:
475
終了ページ:
480
総ページ数:
6
出版情報:
東京: 真空協会
ISSN:
18822398
言語:
日本語
資料種別:
学術雑誌

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