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酸化物半導体ガスセンサのための材料作製技術 : 最近の研究動向
Material Production Technology for Oxide Semiconductor Gas Sensors: Recent Research Progress

著者名:
掲載資料名:
真空 : journal of the Vacuum Society of Japan
発行年:
2017
巻:
60
号:
11
開始ページ:
415
終了ページ:
420
総ページ数:
6
出版情報:
東京: 真空協会
ISSN:
18822398
言語:
日本語
資料種別:
学術雑誌

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