Fabrication Method for Nanocluster Superatoms with High-Power Impulse Magnetron Sputtering — 大電力パルスマグネトロンスパッタを用いたナノクラスター超原子の生成技術 | 東京工業大学附属図書館文献データベース

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大電力パルスマグネトロンスパッタを用いたナノクラスター超原子の生成技術
Fabrication Method for Nanocluster Superatoms with High-Power Impulse Magnetron Sputtering

著者名:

Hironori TSUNOYAMA

Keizo TSUKAMOTO

Atsushi NAKAJIMA

さらに 3 件

掲載資料名:

真空 : journal of the Vacuum Society of Japan

発行年:

2017

巻:

60

号:

9

開始ページ:

352

終了ページ:

361

総ページ数:

10

出版情報:

東京: 真空協会

ISSN:

18822398

言語:

日本語

資料種別:

学術雑誌

詳細

TDL書誌ID:	ZA00066506
論文注記:	小特集:高電力パルススパッタ (HiPIMS). 解説

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