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可搬型超高真空試料搬送導入装置の開発とその応用
Development of a Portable Ultrahigh-Vacuum Sample Transfer Vessel and Its Application

著者名:
Eiichi KOBAYASHI
小林 英一
Shukichi TANAKA
田中 秀吉
Toshihiro OKAJIMA
岡島 敏浩
さらに 1 件
掲載資料名:
真空 : journal of the Vacuum Society of Japan
発行年:
2017
巻:
60
号:
4
開始ページ:
139
終了ページ:
141
総ページ数:
3
出版情報:
東京: 真空協会
ISSN:
18822398
言語:
日本語
資料種別:
学術雑誌

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