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熱陰極電離真空計の感度係数のガス種依存のシミュレーション
Simulation of Relative Sensitivity Coefficient of Bayard-Alpert Gauge

著者名:
Shigemi SUGINUMA
杉沼 茂実
Masahiro HIRATA
平田 正紘
Tokihiko KOBATA
小畠 時彦
さらに 1 件
掲載資料名:
真空 : journal of the Vacuum Society of Japan
発行年:
2016
巻:
59
号:
6
開始ページ:
156
終了ページ:
159
総ページ数:
4
出版情報:
東京: 真空協会
ISSN:
18822398
言語:
日本語
資料種別:
学術雑誌

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