Development of Multi-Wire Electric Discharge Machining for SiC Wafer Processing

著者名:

• M. Ogawa
• K. Mine
• S. Fuchiyama
• Y. Tawa
• T. Kato

掲載資料名:

Silicon carbide and related materials 2013 : selected, peer reviewed papers from the 15th International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM 2013), September 29 - October 4, 2013, Miyazaki, Japan

シリーズ名:

Materials science forum

シリーズ巻号:

778-780

発行年:

2014

パート:

2

開始ページ:

776

終了ページ:

779

総ページ数:

4

出版情報:

Aedermannsdorf, Switzerland: Trans Tech Publications

ISSN:

02555476

言語:

英語

請求記号:

M23650

資料種別:

国際会議録