Evaluation of Mechanical and Optical Properties of Hetero-Epitaxial Single Crystal 3C-SiC Squared-Membrane

著者名:

• R. Anzalone
• G. D'Arrigo
• M. Camarda
• N. Piluso
• F. La Via

掲載資料名:

Silicon carbide and related materials 2013 : selected, peer reviewed papers from the 15th International Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ICSCRM 2013), September 29 - October 4, 2013, Miyazaki, Japan

シリーズ名:

Materials science forum

シリーズ巻号:

778-780

発行年:

2014

パート:

1

開始ページ:

457

終了ページ:

460

総ページ数:

4

出版情報:

Aedermannsdorf, Switzerland: Trans Tech Publications

ISSN:

02555476

言語:

英語

請求記号:

M23650

資料種別:

国際会議録