Characteristics of Diamond SBD's Fabricated on Half Inch Size CVD Wafer Made by the “Direct Wafer Fabrication Technique”

著者名:

• S. Shikata
• H. Umezawa
• H. Yamada
• T. Tsubouchi
• Y. Mokuno

掲載資料名:

Silicon carbide and related materials 2009 : selected peer reviewed papers from the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2009, Nurnberg, Germany, October 11-16, 2009

シリーズ名:

Materials science forum

シリーズ巻号:

645-648

発行年:

2010

パート:

2

開始ページ:

1227

終了ページ:

1230

総ページ数:

4

出版情報:

Aedermannsdorf, Switzerland: Trans Tech Publications

ISSN:

02555476

言語:

英語

請求記号:

M23650

資料種別:

国際会議録