Electric Discharge Machining for Silicon Carbide in Gases of Ar, Ar-CH₄ and Ar-CF₄ Mixtures

著者名:

• T. Sugimoto
• T. Noro
• S. Yamaguchi
• H. Majima
• T. Kato

掲載資料名:

Silicon carbide and related materials 2009 : selected peer reviewed papers from the International Conference on Silicon Carbide and Related Materials 2009, Nurnberg, Germany, October 11-16, 2009

シリーズ名:

Materials science forum

シリーズ巻号:

645-648

発行年:

2010

パート:

2

開始ページ:

869

終了ページ:

872

総ページ数:

4

出版情報:

Aedermannsdorf, Switzerland: Trans Tech Publications

ISSN:

02555476

言語:

英語

請求記号:

M23650

資料種別:

国際会議録